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一种曲率和阈值温度集成传感器制造技术
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下载一种曲率和阈值温度集成传感器的技术资料
文档序号:33835303
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本发明公开了一种曲率和阈值温度集成传感器,双端固支梁两端分别与第一固支梁锚区和第二固支梁锚区连接,金属极板放置于双端固支梁中心位置下方的柔性基板上,第一平面电感两端分别与第一固支梁锚区和金属极板的一端连接;金属极板的另一端与第一触点连接,第...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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