下载一种颗粒状多晶硅杂质元素的检测采样装置的技术资料

文档序号:33830640

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本实用新型公开了一种颗粒状多晶硅杂质元素的检测采样装置,属于多晶硅生产领域,本装置包括区熔炉(1)和设于区熔炉(1)中的采样装置,采样装置包括设于区熔炉(1)上部的移动上轴(2)、籽晶夹头(3)和籽晶(4)、设于区熔炉(1)下部的移动下轴(...
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