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公开了用于在衬底表面上沉积含稀土金属碳化物层的方法和系统以及使用该方法形成的结构和器件。示例性方法包括使用循环沉积过程，例如原子层沉积过程，用于将含稀土金属碳化物层沉积到衬底表面上。化物层沉积到衬底表面上。化物层沉积到衬底表面上。
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