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辐射源测试制造技术
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文档序号:33804875
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一种生成用于辐射源的测试的方法,该辐射源用于光刻设备,该方法包括以下步骤:接收与辐射源的多个发射图案相对应的数据。该方法还包括以下步骤:分析数据以确定用于配置一个或多个另外的发射图案的参数,该一个或多个另外的发射图案用于测试辐射源。参数被确...
该专利属于西默有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西默有限公司授权不得商用。
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