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本发明涉及一种双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置，其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒，且所述壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口且外壁与真空腔体底端密封连接，所述壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件，且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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