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本发明公开了一种旋转靶材用固定装置，旨在可以辅助抬举旋转靶材，方便调整旋转靶材与夹头的同轴度；同时，还提供了一种固定方法，其技术方案：一种旋转靶材用固定装置，包括相对布置的两个内撑夹头，两个所述内撑夹头均布置在同一导轨上，沿所述导轨的长度方...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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