下载一种微纳结构激光窗口及其制备方法的技术资料

文档序号:33719307

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本发明公开了一种具有高透过高阈值抗激光损伤性能的微纳结构激光窗口的制备方法,其步骤包括:(1)利用化学试剂超声清洗抛光后的石英玻璃;(2)利用微量注射泵进行聚苯乙烯微球自组装并将其转移到超声清洗后的石英玻璃上;(3)利用反应离子刻蚀技术对带...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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