下载一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:33706102

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本发明提供一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法,包括:基底;设置在基底底部的传感电极、量子点层和底部填充层;所述基底顶部设有第一反射层和第一驱动电极;与所述第一反射层相对地设有第二反射层,所述第二反射层设置在支承梁底部,所述支承梁...
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