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本发明涉及半导体材料抛光技术领域，且公开了用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统，包括基座以及位于基座上的辅冷却箱、过滤箱以及主冷却箱，所述主冷却箱上还安装有散热盒，且散热盒上设置有用于连通主冷却箱的散热孔，所述主冷却箱内设置有第一冷却组件，...
该专利属于南通元兴智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通元兴智能科技有限公司授权不得商用。

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