下载集成电路封装器件的半开封方法的技术资料

文档序号:33649720

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本发明提供一种集成电路封装器件的半开封方法,包括:先使用激光开封机在封装器件的塑封盖上打开一窗口,再将封装器件倒置在酸开封机上,最后使用体积比为2:1的发烟硝酸和浓硫酸的混酸溶液对所述集成电路进行蚀刻和清洁。本申请通过在塑封盖上打开窗口以露...
该专利属于华虹半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华虹半导体(无锡)有限公司授权不得商用。

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