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用于利用光学探针测试光子IC(PIC)的系统和方法，该光学探针具有平面外边缘耦合器以在平面外探针和PIC的平面中的边缘耦合光子波导之间传送测试信号。为了适应光学探针的尺寸，可以在PIC中靠近波导的边缘耦合器制造测试沟槽。光学探针可以沿着一个...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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