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本发明公开导轨式卡盘机构，包括卡盘组件、多个卡爪组件、卡盘驱动机构，多个卡爪组件呈正多边形结构，所述卡爪组件包括卡爪本体、卡爪滑块、卡爪导轨，所述卡爪滑块的一侧连接所述卡爪本体，所述卡爪滑块的另一侧连接所述卡爪导轨，所述卡爪滑块滑动连接所述...
该专利属于中国电子科技集团公司第三十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第三十八研究所授权不得商用。

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