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一种碳化硅和硅异质结逆导型IGBT制造技术
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文档序号:33617289
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本发明涉及一种碳化硅和硅异质结逆导型IGBT,其包括集电极结构;所述集电极结构为多层结构,由底层到顶层依次为P+集电极区和N+集电极区、位于P+集电极区和N+集电极区上方的N+缓冲层、位于N+缓冲层上方的N漂移区,位于漂移区的上方的表面结构...
该专利属于江苏卓远半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏卓远半导体有限公司授权不得商用。
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