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开关元件制造技术
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文档序号:33617111
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一种开关元件,具有沟槽型的多个栅极电极。半导体基板具有:n型的漂移区域,在各所述沟槽的底面以及侧面与栅极绝缘膜相接;p型的体区域,在所述漂移区域的上侧与所述栅极绝缘膜相接;p型的多个底部区域,配置于所述沟槽的正下方并且是从所述栅极绝缘膜离开...
该专利属于株式会社电装所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社电装授权不得商用。
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