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本发明涉及减振设备技术领域，提供一种减振结构及其制备方法，其中减振结构包括：基部，所述基部适于与芯片固定连接；振动梁，所述振动梁在延伸方向上包括至少一段回折梁，所述振动梁一端与所述基部连接，所述振动梁设置有多个，各所述振动梁以所述基部的重心...
该专利属于北京晨晶电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京晨晶电子有限公司授权不得商用。

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