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本发明公开了一种气体结晶薄膜生长高度实时测量装置及方法，包括干涉测量系统和控制处理模块；干涉测量系统包括光纤激光器、单模保偏光纤、双胶合透镜、起偏器、偏振分光棱镜、四分之一波片、平面反射镜、压电陶瓷、检偏器、显微物镜、成像镜和相机；所述的控...
该专利属于浙江大学嘉兴研究院所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学嘉兴研究院授权不得商用。

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