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制造垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列以产生多个波长。在基板上形成第一分布式布拉格反射器(DBR)，并且在所述第一DBR上形成具有有源区域的光学层。所述光学层具有被配置来生成多个波长的光学特性的变化。为此，在所述第一DBR上形成所述层的第...
该专利属于II-VI特拉华有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过II-VI特拉华有限公司授权不得商用。

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