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本实用新型公开了一种多路独立供气式PECVD供气沉积系统，其技术方案要点是：包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的出料口的一侧安装有烘干箱，所述气相沉积炉的一侧安装有通风组件，所述通风组件的一端连接有加热箱，所述加热箱安装在所述烘干箱的下表面上，...
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