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双面光栅波导及其制备方法、以及定位装置制造方法及图纸
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文档序号:33511191
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本发明公开了一种双面光栅波导的制备方法,包括:在第一子波导的第一表面上制备形成第一光栅层;在第二子波导的第一表面上制备形成第二光栅层;将所述第一子波导的第二表面和所述第二子波导的第二表面贴合连接,获得相对的两个表面均设置有光栅层的双面光栅波...
该专利属于杭州光粒科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州光粒科技有限公司授权不得商用。
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