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一种多区加热装置、下电极组件、等离子处理装置及调温方法，其中，所述多区加热装置包括：多个加热片；多个开关，每个开关连接一加热片并形成一加热单元；多个所述加热单元的两端分别连接一接地总线和一供电总线；多个控制信号线，每个控制信号线与一开关相连...
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