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本发明提供了一种晶圆取放位置确定方法及相关设备，其中，该方法包括：根据晶圆盒支架的参照位置和第一位置差，确定当前晶圆盒的最低取片位置；获取当前晶圆盒的相邻两个卡槽的取片位置之间的第二位置差；获取当前晶圆盒的同一卡槽的取片位置和放片位置之间的...
该专利属于无锡邑文电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡邑文电子科技有限公司授权不得商用。

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