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本实用新型公开了一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，该晶圆干燥装置安装于上游输送装置和下游输送装置之间，包括机架，所述机架上转动安装有若干个干燥输送辊，所述干燥输送辊的输送平面与上游输送装置和下游输送装置的输送平面衔接，每个干燥输送辊上均套装固...
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