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本发明提供一种微细结构非接触式抛光装置及方法，属于精密/超精密加工领域。所述抛光装置包括抛光液工作槽、旋转平台、夹具、低频率振动发生装置、抛光头、超声波刀柄、抛光液。夹具与旋转平台连接，且二者之间留有间隙用于放置低频率振动发生装置，低频率振...
该专利属于大连理工大学宁波研究院所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学宁波研究院授权不得商用。

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