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本申请提供一种多晶硅还原炉,涉及多晶硅生产设备技术领域。多晶硅还原炉包括底盘、钟罩、电极和硅芯,钟罩罩设在底盘上形成容纳腔室,电极外部包裹有绝缘部件,绝缘部件插设于底盘;电极具有两个,硅芯为偶数个且个数不小于四;硅芯均设于容纳腔室内,偶数个...该专利属于亚洲硅业(青海)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)股份有限公司授权不得商用。
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本申请提供一种多晶硅还原炉,涉及多晶硅生产设备技术领域。多晶硅还原炉包括底盘、钟罩、电极和硅芯,钟罩罩设在底盘上形成容纳腔室,电极外部包裹有绝缘部件,绝缘部件插设于底盘;电极具有两个,硅芯为偶数个且个数不小于四;硅芯均设于容纳腔室内,偶数个...