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本实用新型公开一种片盒洁净度检测系统，包括片盒清洗机台、废水槽、液体颗粒检测仪、控制器和终端机；片盒清洗机台的废水排放口通过废水排放管路与废水槽内部连通；废水槽内部通过抽检管路与液体颗粒检测仪进口相连，抽检管路上连接有抽水泵，液体颗粒检测仪...
该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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