温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备，涉及真空组件领域。该利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其包括一级腔体、二级腔体和氮气管道，一级腔体和二级腔体固定连接以形成用于容纳转子的活动腔，一级腔体和管道腔体的接触面具有...
该专利属于四川莱斯特真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川莱斯特真空科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。