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硅棒切割方法、设备及系统技术方案
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文档序号:33370738
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本申请实施例提供一种硅棒切割方法、设备及系统,方法包括:以平行于硅棒长度方向的四个第一切面对硅棒进行切割,得到具有两个平面及两个弧面的中间棒、两个第一类边皮料、以及两个第二类边皮料;以平行于硅棒长度方向的四个第二切面对中间棒进行切割,第二切...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。
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