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本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图...
该专利属于旭化成株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭化成株式会社授权不得商用。

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