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一种基于碳纳米管通道的纳流控芯片加工方法技术
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文档序号:33350701
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本发明提供一种基于碳纳米管通道的纳流控芯片加工方法。包括:在除水的基底上旋涂一薄层光刻胶并加热使其固化;将碳纳米管薄层通过热释法转移至光刻胶薄层表面的预定位置;在光刻胶薄层表面旋涂另一层光刻胶将碳纳米管嵌入其中;加热使光刻胶溶剂挥发,之后进...
该专利属于大连海事大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连海事大学授权不得商用。
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