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本实用新型提供了一种磨削主轴坐标测量机构，所述磨削主轴的边缘一圈设置金刚石砂轮座，所述砂轮座的底面设置一圈金刚石砂轮牙齿，所述金刚石砂轮牙齿用于磨削真空吸盘台面上的晶圆，所述测量机构包括：用于获得磨削主轴的基准Z轴坐标的标准块规；固定设置于...
该专利属于技感半导体设备（南通）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过技感半导体设备（南通）有限公司授权不得商用。

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