温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明构思提供一种用于传送基板的传送手部。该用于传送基板的传送手部包括：本体；和真空组件，其安装在本体中并对基板的底表面提供减压以在本体的上部支撑基板；其中真空组件包括：导电真空垫，其接触基板；和密封构件，该密封构件设置在真空垫和本体之间，...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。