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本实用新型提供一种能够提高基板的品质的减压干燥装置。减压干燥装置通过减压使在第一面附着有处理液的基板干燥，减压干燥装置具有腔室、支撑部、排气部以及加热部。腔室具有容纳基板的处理空间。支撑部在处理空间中以使第一面朝向上方的状态支撑基板的与第一...
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