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晶圆裂片放膜、移膜机构制造技术
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文档序号:33295100
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本发明公开了一种晶圆裂片放膜、移膜机构,在防静电驱动辊和与气涨轴连接的电磁制动器的共同作用下,使得复合膜在放膜机构中始终处于一个张紧的状态,移膜机构在工作时,保证复合膜在移动过程中始终受到上吸附装置或下移动吸盘控制,放膜机构中的驱动下压机构...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。
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