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浙江泰嘉光电科技有限公司
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一种支撑Pin损伤检测方法、装置、设备及介质制造方法及图纸
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文档序号:33289925
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本申请公开了一种支撑梢Pin损伤检测方法、装置、设备及介质,应用于芯片测量技术领域,用以解决现有技术中测量支撑Pin高度时,移动镜头测距导致的应用范围小、检测精度低的问题。具体为:确定接收部件接收到的由发送部件发送经过支撑Pin反射的光线与...
该专利属于浙江泰嘉光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江泰嘉光电科技有限公司授权不得商用。
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