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一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置制造方法及图纸
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下载一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置的技术资料
文档序号:33203221
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本发明涉及一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置,包括:真空连接支座上安装有冷却套筒,冷却套筒的顶部安装有二级蒸气喷嘴、一级蒸气喷嘴和高温加热套筒,高温加热套筒内设置有双头坩埚,双头坩埚内放置有原子分子固态样品,双头坩埚的底部安装有测温...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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