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一种纳米精度位移与振动干涉测量装置，包括带有第一驱动电源（２）的光源（３）和连接到计算机（１１）上的模数转换器（１０），其特征在于由带有温度控制器（４）的光源（３）发射的光束通过第一段光纤（３０１）、隔离器（１６）和第二段光纤（３０２），由...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种纳米精度位移与振动干涉测量装置，包括带有第一驱动电源（２）的光源（３）和连接到计算机（１１）上的模数转换器（１０），其特征在于由带有温度控制器（４）的光源（３）发射的光束通过第一段光纤（３０１）、隔离器（１６）和第二段光纤（３０２），由...