下载共阴极单气流通道双放电通道管板式放电电极的技术资料

文档序号:3317320

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一种共阴极单气流通道双放电通道管板式放电电极,由阳极、水冷阴极管和预放电针组成,所述的阳极由两排相对放置的阳极板组成,每排阳极板由若干块金属块沿水冷阴极管方向整齐排列而成;两排阳极板共用同一水冷阴极管,分别组成两个放电通道,气体从所述的两排...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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