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一种误差信号生成系统和方法，用于连续准确地定位与相干光源（１２）联合使用的可调单元（２６）。可调单元（２６）位于具有固定频率或波长的相干光束（２２）中，并且检测器（５６）相对于光束（２２）和可调单元（２６）进行定位，检测器（５６）能够生成一...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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