下载一种铝镓氮基紫外发光二极管外延层结构及其制备方法的技术资料

文档序号:33120185

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本发明公开了一种铝镓氮基紫外发光二极管外延层结构,包括由下至上依次叠置的蓝宝石衬底、成核层、Al
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