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本发明涉及一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具，包括芯轴、套设且固定在芯轴上的第一定位板与第二定位板、设置于第一定位板上的若干定位筒以及固定在芯轴上的驱动盘，所述定位筒围绕芯轴轴芯设置，所述芯轴不带电；或者，当芯轴带电时，在芯轴上设隔绝件...
该专利属于艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司授权不得商用。

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