温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆扩膜后的辅助割膜装置，包括底座、可旋转支柱、真空吸附机构，底座通过可旋转支柱与真空吸附机构连接；真空吸附机构包括吸附腔体和真空管道，吸附腔体包括外环和供扩膜晶圆的晶圆本体放置的内容置槽，外环上设有多个真空孔；真空管道...
该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。