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本发明公开了加热样品台及具有其的真空镀膜系统，涉及真空镀膜设备技术领域，包括加热器和样品台，所述样品台用于承载基片，所述加热器位于所述样品台上方由不透光材料围成的加热腔中，所述加热器连接测温探头和控制器，所述测温探头用于检测基片的温度，所述...
该专利属于布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司授权不得商用。

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