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本发明提供一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介。晶圆中金属离子分布识别方法包括以下步骤：获取晶圆的灰度图像；根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰度曲线，其中，所述晶圆由N个子区域构成，N为大于1的整数，所述子区域的形状...
该专利属于西安奕斯伟设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟设备技术有限公司授权不得商用。

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