下载全自动晶圆分选机旋转取料结构的技术资料

文档序号:33022935

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本发明的技术目的是提供一种通过摆臂及吸附结构,定位精确的全自动晶圆分选机旋转取料结构。包括有旋转电机,所述旋转电机的电机轴上设有一摆臂基座,在所述摆臂机座上设有摆臂,在所述摆臂的上端设有吸嘴,所述吸嘴连通吸放气缸。本发明将将摆臂基座及摆臂旋...
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