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本实用新型公开了一种镀膜机的多靶位真空室，属于真空镀膜机技术领域，包括真空罩和底座，所述真空罩内安装有多个磁控溅射靶，所述底座上安装有抽真空管，所述底座上安装有旋转座驱动的转盘，所述转盘上圆周分布有若干个基片台架，通过驱动所述转盘旋转使不同...
该专利属于南京丙辰表面技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京丙辰表面技术有限公司授权不得商用。

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