下载托盘及其金属有机化学气相沉积反应器的技术资料

文档序号:33015349

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一种托盘以及金属有机化学气相沉积反应器,其中,所述托盘,可沿其中心轴转动,具有第一托盘面和设于所述第一托盘面外围的第二托盘面,所述第二托盘面高于第一托盘面,所述第一托盘面内设有一凹陷于所述第一托盘面的基片槽,每个所述基片槽内设置若干个支撑台...
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