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本实用新型公开了一种真空溅射镀膜靶材，包括台座，所述台座台座上端面外侧固定连接有固定环，所述台座上端面中部放置有冷却台，所述冷却台上端面放置有压电板，所述压电板上端面放置有靶材，所述冷却台内腔设置有冷却机构，本实用新型涉及靶材技术领域。该真...
该专利属于江苏东玖光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏东玖光电科技有限公司授权不得商用。

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