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本发明公开硅锭连续生长器的吸排气装置。本发明的硅锭连续生长器的吸排气装置可包括：腔室，分为第一区域和第二区域，上述第一区域的内部维持真空气氛，在中心设置主坩埚，用于使锭生长，在上述第二区域的上端外侧设置用于向上述主坩埚供给熔融硅的预备熔融器...
该专利属于韩华思路信所有，仅供学习研究参考，未经过韩华思路信授权不得商用。

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