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本发明提供了一种防止静电吸合的微机械检测结构，属于微机电系统技术领域，包括固定锚点及连接于固定锚点的固定梳齿、活动质量块以及连接于活动质量块的活动梳齿；活动梳齿与固定梳齿相互交叉，当敏感信号输入时，活动质量块偏移平衡位置，活动梳齿与固定梳齿...
该专利属于河北美泰电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北美泰电子科技有限公司授权不得商用。

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