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本实用新型公开了一种晶圆盒搬运装置、设备及系统，该晶圆盒搬运装置包括底座、取料机构和升降机构；所述底座包括有用于承载物料的储料平台；所述取料机构包括机械臂和取料组件，所述机械臂与所述取料组件连接，用于驱动所述取料组件进行取料或放料；升降机构...
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